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FlexSEM 1000鎢燈絲掃描電鏡

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FlexSEM1000是日立高新公司推出的一款機(jī)型小巧性能優(yōu)異的鎢燈絲電鏡,擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設(shè)計(jì),配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭,具有的低真空成像能量,并且采用的SEM MAP高精度導(dǎo)航系統(tǒng)及zui全的自動化功能,使性能更加*,使用更加簡便。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

FlexSEM1000是日立高新公司推出的一款機(jī)型小巧性能優(yōu)異的鎢燈絲電鏡,擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設(shè)計(jì),配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭,具有的低真空成像能量,并且采用的SEM MAP高精度導(dǎo)航系統(tǒng)及zui全的自動化功能,使性能更加*,使用更加簡便。

特點(diǎn)

1.節(jié)能環(huán)保的設(shè)計(jì)

2.高效率的自動功能

3.簡捷的操作界面

4.高分辨低真空觀察

鎢燈絲掃描電鏡技術(shù)參數(shù) 

分辨率  4.0nm(加速電壓20kV,高真空模式,二次電子像) 
  15.0nm(加速電壓1kV,高真空模式,二次電子)
  5.0nm(加速電壓20kV,低真空模式,背散射電子像)

 

放大倍率 底片倍率:6 – 300,000x 
  顯示器倍率:16 – 800,000x  

 

加速電壓 0.3-20kV
低真空可變壓力范圍 6-100Pa 
馬達(dá)臺 標(biāo)配三軸自動馬達(dá)
行程 X: 0-40mm
Y: 0-50mm
R: 360 °
Z: 5-15mm
T: -15- 90° 
電子光學(xué)系統(tǒng) 電子槍:預(yù)對中鎢燈絲
信號檢測系統(tǒng):二次電子探測器;高靈敏度背散射探測器

 

真空系統(tǒng) 全自動閥門控制抽真空系統(tǒng)/渦輪分子泵:61L/S 1臺
機(jī)械泵:100L/min 1臺
安全裝置:帶停電、漏電保護(hù)的真空保護(hù)功能
操作輔助功能 電子束旋轉(zhuǎn);動態(tài)聚焦;畫質(zhì)優(yōu)化功能
數(shù)據(jù)輸入;2點(diǎn)間測量、角度測量、文字;預(yù)設(shè)倍率;
樣品臺位置導(dǎo)航功能(SEM MAP);電子束標(biāo)記


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