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OLS5000 3D測量激光顯微鏡

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LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學系統(tǒng)(彩色成像光學系統(tǒng)和激光共聚焦光學系統(tǒng))讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

 OLS5000擁有四個關鍵價值

1.捕捉任意表面形狀

2.快速獲得可靠數(shù)據(jù)

3.使用簡單-只需放好樣品按下按鈕即可

4.測量具有挑戰(zhàn)性的樣品

技術規(guī)格

型號 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
總倍率 54x - 17,280x
視場直徑 16um - 5,120um

測量原理 光學系統(tǒng) 反射式共聚焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
彩色
彩色DIC
光接收元件

激光:光電倍增管(2ch)
彩色:CMOS彩色相機

高度測量 顯示分辨率 0.5nm
Linear scale 0.78nm
動態(tài)范圍 16 bits
重復性*1 *2 *6 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm
準確性*1 *3 *6 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm])
拼接圖像準確度
 *1 *4 *6
10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm])
測量噪聲*1 *5 *6 1nm [Typ]
寬度測量 顯示分辨率 1nm
重復性 *1 *6 10x : 0.2μm, 20x:0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm
準確度*1 *3 *6 測量值 +/- 1.5%
拼接圖像準確度



*1 *3 *6
10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm])
單次測量時測量點的數(shù)量 4096 x 4096 pixel
測量點的數(shù)量 36 Mpixel
XY 載物臺配置 長度測量模塊
工作范圍 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual 300 x 300 mm Motorized 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual
樣品高度 100mm 40mm 37mm 210mm 150mm
激光光源 波長 405nm
輸出 0.95 mW
激光分類 2類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源 白光 LED
電氣功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
質量 顯微鏡主體 約31 kg  32 kg 約 50 kg 43 kg  44 kg
控制箱 12 kg

*1 在 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時提供保證 (溫度: 20˚C±1˚C, 濕度: 50%±1%) 。

*2 在使用 MPLAPON LEXT系列物鏡測量時. 
*3 在使用專用LEXT物鏡測量時. 
*4 在使用20X或更高倍率專用LEXT物鏡測量時. 
*5.在使用MPLAPON100XLEXT物鏡測量時的典型值

*6.基于奧林巴斯認證體系保證

4K 掃描技術

4K Scan Technology

4K掃描技術可在X軸方向掃描4096像素,是傳統(tǒng)機型的四倍。由此提高了高度測量的可靠性,改善了分辨率,信噪比提升了兩倍。OLS5000顯微鏡無需圖像處理就能檢測幾乎垂直的陡峭斜面和極低的臺階

智能判定功能

Capturing the true shape

由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用圖像平滑處理的方式來消除噪聲,有時會將測得的正確的細微高度不規(guī)則數(shù)據(jù)連同噪聲儀器消除。OLS5000顯微鏡采用奧林巴斯自動檢測可靠數(shù)據(jù)的智能判定算法,可在不丟失細微高度不規(guī)則數(shù)據(jù)的情況下實現(xiàn)精確測量。

其他高分辨率測量技術

  • PEAK 算法
  • 雙共焦系統(tǒng)
  • Sq噪聲(測量噪聲)保證
  • 準確性和重復性保證
  • 混合匹配算法
  • 混合式減振機構
  • HDR 觀察







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