●半導體晶圓

●半導體掩膜版基板

●同步輻射

●光刻機光學元件

●航空航天折返成像系統(tǒng)

●空間光學器件

●強激光平板玻璃測量等

實現(xiàn)大口徑光學表面面形、透射波前、光學均勻性等參數的檢測。

                     （2）產品綜述

300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產品之一。它采用經典的斐索型共光路設計，結構簡單、在適用于多種被測樣品的前提下，使用數字化相移分析方法實現(xiàn)高精度、多功能的檢測。

  慧利儀器300mm通用組合水平式檢測干涉儀不僅實現(xiàn)了干涉測量技術從小口徑到大口徑的更新拓展，而且填了國內制造業(yè)和國家質檢部]對高精度平面檢測設備需求的空白。

                   （3）參數性能

◆材質均勻性

◆超精密平面/球面面形測量

◆光學系統(tǒng)裝調和校準

◆光學組件透射波前測量

◆光學均勻性測量

◆平行度測量

◆角錐角度測量

◎◎我們會傾聽您的需求，支持特殊需求定制

  部分客戶群體：蘇州計量院,上海計量院,福建計量院,上海光機所,石家莊13所,上?，F(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司UPEC,長春理工,上海理工等。