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GC-9560-PDD 四氟化碳分析氦離子色譜儀

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GC-9560-PDD四氟化碳分析氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)。

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四氟化碳分析氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。四氟化碳分析氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，保證不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化*項目。

 

項目指     標 
四氟化碳（CF4）純度（體積分數(shù)）/10-2    ≥99.99999.99599.99
氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6           ＜42040
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分數(shù)）/10-6      ＜1510
二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6    ＜1510
一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6     ＜0.10.51
六氟化硫（SF6）含量（體積分數(shù)）/10-6    ＜115
水分（H2O）含量（體積分數(shù)）/含量，10-6  ＜3510
酸度（以HF計）含量含量（體積分數(shù)）/10-6  ＜0.10.30.3
其它鹵碳化合物a含量（體積分數(shù)）/10-6    ＜11030
總雜質(zhì)含量(體積分數(shù))/l0-6                        ≤105010
顆粒供需雙方商定供需雙方商定供需雙方商定

其它鹵碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。

 

 

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

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