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PECVD等離子體增強化學氣相沉積設備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 科睿設備有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質
  • 更新時間 2019/12/18 9:34:37
  • 訪問次數(shù) 1335

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該PECVD等離子體增強化學氣相沉積設備系統(tǒng)可以沉積高質量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質薄膜、光學薄膜等??蛇x用射頻(RF)、空陰*密度等離子體(HCD)源、感應耦合等離子體(ICP)源。大沉積尺寸為8英寸。

詳細信息 在線詢價

該PECVD可以升級到PECVD & 反應離子蝕刻雙功能系統(tǒng)(帶ICP源)!
PECVD等離子體增強化學氣相沉積設備系統(tǒng)可以沉積高質量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質薄膜、光學薄膜等??蛇x用射頻(RF)、空陰*密度等離子體(HCD)源、感應耦合等離子體(ICP)源。大沉積尺寸為8英寸。
等離子源:
5英寸或8英寸多噴頭平面中空陰離子源;
600瓦水冷;
Fractal monometer and carrier gas freed;
高密度等離子1013 ions/cc;
均勻性好,低污染;
應用領域:
等離子誘導表面改性(Plasma Induced Surface Modifications);
等離子清洗(NF3);
等離子反應離子蝕刻(Plasma Reactive Ion Etching);
等離子聚合(Plasma Polymerization);
等離子增強化學氣相沉積(PECVD);
SiO2, Si3N4, DLC及其它硬質薄膜



PECVD等離子體增強化學氣相沉積設備技術參數(shù):

平板尺寸(Platen size) 8英寸
源直徑(Source diameter) 5英寸或8英寸
氣路數(shù)(No. of gas feeds) 4(2反應氣,1載氣,1排氣)
源到平板距離(Source to platen distance) 2英寸或可以調(diào)節(jié)
zui高平板溫度(Max. platen temp.) 400℃
射頻電源(RF power supply source) 600瓦,13.5 MHz
射頻偏置(RF bias) 300瓦,13.5 MHz

計算機控制的高品質沉積設備;
射頻花灑噴頭及等離子源;
大可沉積8英寸直徑的薄膜;
RF偏置基底夾具;
水冷平板(water cooled platen);
一路載氣和兩路反應氣通過流量計控制流量;
分子渦輪泵;
基本真空度10-7 Torr;
空氣控制閥



主要特點:

可升級到PECVD & 反應離子蝕刻(Reactive Ion Etching,RIE)雙功能系統(tǒng);
5英寸或8英寸等離子源;
電拋光不銹鋼腔體;
熱臺(heated platen);
帶有5英寸視窗的門(晶片裝載及取出);
裝載鎖(load lock);
高度調(diào)整平板;
腐蝕泵包(corrosive pump package);
增加氣路,加熱氣路;
HMDS或加熱液體傳輸系統(tǒng);
1kw射頻源;
脈沖直流電源;
蘭繆爾探針(Langmuir probe)


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