我們的石英等離子去膠機氣體暴露在電子區(qū)域時可以形成等離子體。由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放的高能電子組成了氣體等離子或離子。已電離的氣體原子的動能相對較小，除非他們通過電場加速。加速時，他們會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。等離子體效應的過程轉(zhuǎn)換成材料的蝕刻工藝。活性氣體在分子級上的使用也產(chǎn)生化學反應。

   我們致力于氣體等離子處理，即讓氣體在常溫下，無熱相變下改變。這些氣體可以是惰性的，也可以是起反應的。在反應性氣體的情況下，利用動量轉(zhuǎn)移處理以及氣體反應的化學性質(zhì)改變材料的特性。
石英圓柱體等離子系統(tǒng)Quartz Barrel Plasma Systems
SCE104等離子去膠機
4" diameter x 8" long   
102毫米直徑 x 203毫米長腔體
外形尺寸26" H x 23" W x 30" D  660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE 106等離子去膠機
6" diameter x 8"long  
 152毫米直徑x 203毫米長腔體
外形尺寸 26" H x 23" W x 30" D  660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE108等離子去膠機
8" diameter x 8"long 
203毫米直徑x203毫米長腔體
外形尺寸 26"H x 23"W x 30"D  660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE110等離子去膠機
10" dia x 18" L long  
254毫米直徑x 457毫米長腔體
外形尺寸36"H x 21"W x 30"D  914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D
SCE 115等離子去膠機
15" dia x 18" L long  
381毫米直徑x 457毫米長腔體   
外形尺寸22" W x 36" H x 27" D   559毫米x914毫米H x 686毫米 D
SCE150等離子去膠機
10" dia x 18"L  2 4毫米直徑x 457毫米長腔體
SCE 604等離子去膠機
Four (4) chambers 4" x 8" diameter Quartz   
4個腔體102毫米x203毫米直徑石英腔體
控制系統(tǒng)Control System 
•    PLC - "Touch-Panel" operation 
PLC觸摸面板操作
•    Digital count down timer (hrs, min, sec) 
數(shù)字倒計時定時器（小時，分，秒）
•    Digital On-Screen vacuum display 
數(shù)碼屏幕真空顯示器
•    Gas flow with needle valve control 
氣體流量針形閥控制
•    Manual tuning standard 
手動校準標準
•    Optional: Automatic RF tuning for load match
•    可選的：自動射頻調(diào)整與負載匹配
反應腔體Reactor Chamber
•    4" diameter x 8" long quartz chamber 
•    4英寸直徑x8英寸長的石英艙體
•    RF shielded 
•    射頻屏蔽
•    Front load
•    前負荷
尺寸Dimensions
•    26" H x 23" W x 30" D 
•    26英寸（H）x23英寸（W）x30英寸（D）
•    275 lbs Crated weight
•    275磅包裝重量。
射頻功率源RF Power Source
•    0-150 Watt RF 13.56 MHz supply 
•    0-150 W射頻13.56兆赫茲供應 
•    Forward and reflected power readings 
•    正向和反射功率讀數(shù)
•    Low frequency optional
•    低頻選項
真空系統(tǒng)Vacuum System
•    3.8 CFM Standard service pump 
•    3.8 CFM 標準的服務泵
•    1 Phase 50/60 120/208 VAC 
•    1 相 50/60 120/208 VAC
•    Package with all interconnecting hardware 
•    包裝包含所有相關(guān)硬件
•    選項Optional
•    Oxygen service. Class "B" Preparation     
•    氧氣服務，B類備選