第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）
布魯克 DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新性的設(shè)計，可以提供的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于5Å。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的，更加鞏固了其行業(yè)地位。通過整合其行業(yè)產(chǎn)品，DektakXT實現(xiàn)了zui高性能。操作簡易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都有更好的過程控制。整合了技術(shù)突破到第十代Dektak臺階儀能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學、材料科學等行業(yè)實現(xiàn)納米級表面形貌測量。DektakXT
Specifications規(guī)格
測量技術(shù)探針輪廓技術(shù)
測量功能二維表面輪廓測量
可選三維測量/
樣品視景可選放大倍率, 1 to 4mm FOV
探針傳感器低慣量傳感器 （LIS 3）
探針壓力使用LIS 3傳感器：1 至 15mg
低作用力（選配）使用N-Lite+低作用力傳感器：0.03至 15mg
探針選項探針曲率半徑可選范圍： 50nm至25μm
高徑比 （HAR）針尖：10μm x 2μm和200μm x 20μm;
可按客戶要求定制針尖
樣品X/Y載物臺手動 X-Y 平移：100mm （4 英寸）
機動X-Y 平移：150mm （6 英寸）
樣品旋轉(zhuǎn)臺手動，360°旋轉(zhuǎn);
機動：360°旋轉(zhuǎn);
計算機系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板顯示器
軟件 Vision64操作及分析軟件；
應(yīng)力測量軟件；懸臂偏轉(zhuǎn)；
縫合軟件；三維掃描成像軟件
減震裝置減震裝置可用
掃描長度范圍 55mm （2英寸）
每次掃描數(shù)據(jù)點zui多可達120,000數(shù)據(jù)點
zui大樣品厚度 50mm （2英寸） zui大晶圓尺寸 200mm （8英寸）
臺階高度重現(xiàn)性 <5Å, 1σ在1μm臺階上
垂直范圍 1mm （0.039英寸）
垂直分辨率zui大1Å （ 6.55μm垂直范圍下） 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
溫度范圍運行范圍20 到 25°C （68到77°F）
濕度范圍 ≤ 80%, 無冷凝
系統(tǒng)尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H （17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H）; 34公斤（75磅）;
附件：550mm L x 585mm W x 445mm H （21.6in. L x 23in. W x 17.5in. H）; 21.7公斤（48磅）
