ET4000是Kosaka公司推出的全自動(dòng)接觸式微細(xì)形狀測定儀，具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。

日本Kosaka輪廓儀（臺(tái)階儀）

日本Kosaka株式會(huì)社于1950年成立，專業(yè)生產(chǎn)、開發(fā)和銷售各種精密測試儀器、液壓設(shè)備、自動(dòng)機(jī)械和包裝機(jī)械等產(chǎn)品。公司于1950年推出其*個(gè)產(chǎn)品，SD-1表面粗糙分析儀。從此，在隨后的五十多年，產(chǎn)品不斷完善和更新，Kosaka公司的精密分析儀器始終是行業(yè)里的者。

ET4000臺(tái)階儀介紹：

      ET4000是Kosaka公司推出的全自動(dòng)接觸式微細(xì)形狀測定儀，具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺(tái)階高度和粗糙度等。堅(jiān)固的花崗巖材料鑄成的機(jī)身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對(duì)測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置，通過選配三維成像附件套裝還可以*地?cái)U(kuò)充儀器的功能。

主要參數(shù)：

儀器特點(diǎn)：

l 具有的臺(tái)階高度重復(fù)性5Å （1σ）和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）。

l 高分辨率，縱軸zui大分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級(jí)至幾百微米級(jí)臺(tái)階高度。

l 超高直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等。

l 低測定力：采用直動(dòng)力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料。