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在選購(gòu)勻膠機(jī)時(shí)需要考慮哪些問(wèn)題？
(1)旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，會(huì)導(dǎo)致無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。
(2)真空吸附系統(tǒng)
真空泵要無(wú)油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，油污可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會(huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況。
(3)材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，因?yàn)槌杀镜?，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，，不銹鋼的對(duì)于各類(lèi)化膠液的抗腐蝕性不理想，塑料對(duì)于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà)，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。
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2025北京軍工展|第十四屆國(guó)防信息化裝備與技術(shù)博覽會(huì)
展會(huì)城市：北京市展會(huì)時(shí)間：2025-06-12