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掃描電子顯微鏡的組成部分

   2022年06月09日 08:52  
  掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)簡稱為掃描電鏡,它是用細聚焦的電子束轟擊樣品表面,通過電子與樣品相互作用產生的二次電子、背散射電子等對樣品表面或斷口形貌進行觀察和分析,可廣泛應用于材料、冶金、礦物、生物學領域。
 
  一般來說,掃描電子顯微鏡由電子光學系統(tǒng)、信號收集和顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、電源系統(tǒng)組成。
 
  1、電子光學系統(tǒng)
 
  組成:電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。
 
  作用:獲得掃描電子束、作為產生物理信號的激發(fā)源。
 
  2、信號收集和顯示系統(tǒng)
 
  信號收集:二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器(波譜儀和能譜儀)
 
  顯示系統(tǒng):顯示屏有兩個,一個用于觀察,一個用于記錄照相。
 
  3、真空系統(tǒng)
 
  組成:機械泵、擴散泵
 
  作用:保證電子光學系統(tǒng)正常工作,提供高真空度,防止樣品污染,保持燈絲壽命,防止極間放電。
 
  4、電源系統(tǒng)
 
  包括啟動的各種電源,檢測-放大系統(tǒng)電源,光電倍增管電源,真空系統(tǒng)和成像系統(tǒng)電源燈。還有穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應的安全保護電路。

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