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X射線熒光光譜儀(XRF,是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法。X射線熒光是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級(jí)X射線。這種現(xiàn)象被廣泛用于元素分析和化學(xué)分析,特別是在金屬,玻璃,陶瓷和建材的調(diào)查和研究,地球化學(xué),法醫(yī)學(xué),考古學(xué)和藝術(shù)品,例如油畫(huà)和壁畫(huà)。
XRF用的是物理原理來(lái)檢測(cè)物質(zhì)的元素,可進(jìn)行定性和定量分析。即通過(guò)X射線穿透原子內(nèi)部電子,由外層電子補(bǔ)給產(chǎn)生特征X射線,根據(jù)元素特征X射線的強(qiáng)度,即可獲得各元素的含量信息。這就是X射線熒光分析的基本原理。它只能測(cè)元素而不能測(cè)化合物。但由于XRF是表面化學(xué)分析,故測(cè)得的樣品必須滿足很多條件才準(zhǔn),比如表面光滑,成分均勻。如果成分不均勻,只能說(shuō)明在XRF測(cè)量的那個(gè)微區(qū)的成分如此,其他的不能表示。
XRF的優(yōu)點(diǎn)如下:
1、分析速度高。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān),但一般都很短,2-5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部元素。
2、非破壞性。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變,也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量,結(jié)果重現(xiàn)性好。
3、分析精密度高。
4、制樣簡(jiǎn)單,固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
5、測(cè)試元素范圍大,WDX可在ppm-100%濃度下檢測(cè)B5-U92,而EDX可在1ppm-100ppm下檢測(cè)大多數(shù)元素,Na11-U92。此外還可以檢測(cè)Cu合金中的Be含量。
6、可定量分析材料元素組成,分辨率高,探針尺寸為500μm (WDX), 75μm (EDX)。
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